54华南理工大学学报(自然科学版)第31卷[2]　NulmanJ,[6]　enlingerM,[J].ApplPhysintothermallygrownSiO2[J].JApplPhys,1969,40:Lett,1985,47(2):[3]王永顺,熊大菁,李志坚.快速热氮化超薄SiO2膜特性[7]　的研究[J].半导体学报,1990,11(8):[J].JApplPhys,1982,53(7):5052-5066.[4]冯文修,陈蒲生,黄世平.快速热氮化超薄SiO2膜的氮[8]冯文修,陈蒲生,田浦延,等.电子从不同晶向硅隧穿快分布和氮化机理的研究[J].半导体学报,1997,18速热氮化SiO2膜的电流增强及模型解释[J].半导体(4):269-274.学报,2001,22(11):1411-1415.[5]冯文修,陈蒲生,黄世平.超薄SiO2膜电子隧穿及低场[9]　传输电流的温度关系[J].半导体学报,1998,19(10):strengthofsiliconnitridefilms[J].JApplPhy,,38(7):pidThermalNitridationUltra2thinSiO2FilmsFengWen2xiu　ZhangHeng　ChenPu2sheng　TianPu2yan(,,Guangzhou,China)Abstract:Bytherapidthermalnitridation(RTN)ofultra2thin(10nm)SiO2films,theultra2thinSiOxNydielectricfilmshadbeenpreparedwithtungsten2halogenlampasradiationsource,andtheAl/n2Si/SiOxNy/transportationfromn2Sitolampheatingrapidthermalnitr,,twophenomenamayoccur:oneisthatthecharacteristicsfollowF2Nruleuntilthebreakdown,andtheotheris,:rapidthermalnitridation;ultra2thinSiO2film;current2transportedcharacteristic橡塑用超细改性重质碳酸钙中试”“造纸、通过成果鉴定2003年6月25日,由广东省科技厅组织并委托广东省教育厅主持,在项目实施地深圳市鹏达尔粉体材料有限公司召开了广东省重点科技攻关项目“造纸、橡塑用超细改性重质碳酸钙中试”的科技成果现场鉴定会。鉴定委员会听取了项目组的有关报告,并参观了生产现场,经认真讨论,一致同意该项目通过科技成果鉴定,并建议尽快扩大产业化规模,加强产品的应用研究和推广工作。该项目针对目前国内重质碳酸钙深加工水平的现状和国外工艺设备方面的不足,采用自主创新的化学法前置处理、超微细与分级同步工艺、改性与解聚于一体的加工工艺及装置,开展了重质碳酸钙的深加工工艺、装置与超微细产品的应用等方面的创新研究,克服了传统工艺生产成本高、粒度分活化度低以及易团聚的缺点,解决了我国非金属矿物材料界多年来悬而未决的一大难布难以控制、活化度高、题。产品分散性好、粒度分布窄且粒度可调,各项技术指标达到并优于国际先进水平,是国际超细粉体领域的一大技术创新。该项目成果具有良好的经济效益和广阔的市场前景,对我国丰产矿产资源的深加工开发应用及产业化具有示范和推动作用。

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