芯微电子装备专利侵权案解析

期刊介绍

本刊是国内外公开发行的国内唯一以橡塑工艺技术和加工机械为重点内容的专业技术期刊，读者对象主要为橡胶、塑料行业的科研与工程技术人员及相关专业大专院校师生，有英文目次和摘要。【详细查看】

来源：橡塑技术与装备 【在线投稿】栏目：期刊导读时间：2021-07-22

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【摘要】：2021年3月24日,曾被称为"首家国产光刻机企业"的合肥芯碁微电子装备有限公司(以下简称芯碁公司)在科创板成功上市。虽经业内介绍芯碁公司生产的"ACURA280激光直接成像设备"属于"泛"半导

2021年3月24日,曾被称为"首家国产光刻机企业"的合肥芯碁微电子装备有限公司(以下简称芯碁公司)在科创板成功上市。虽经业内介绍芯碁公司生产的"ACURA280激光直接成像设备"属于"泛"半导体直写光刻设备,与ASML的光刻机不是同一种光刻机,但仍吸引了资本市场的眼光。